美国MKS1179A气体质量流量计是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。对于当今市场上的质量流量控制器，1179A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。技术参数：全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。控制量程：2%to100%的全量程。测量精度：全量程的1%灵敏度：全量程的0.1%热机时间：小于2Min.MKS流量计主要产品：MKS金属和弹性密封型流量计MKS1179A,MKS1479A,MKS2179A,MKS1559A，MKS流量控制器，MKS电容式压力计)