作为针对各种应用的业界公认标准，Aera®FC-7700系列MFC提供***的流量控制，同时具备弹性密封的经济优势。对于半导体、平板显示器、数据储存、工业真空、及工业涂层的工艺及装备工程师，这一系列提供针对非腐蚀性气体应用（包括CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其它镀膜工艺）的高度可靠性和出色的性能。性能:快速响应——设置点之间的流量沉淀时间不到2秒***的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5%易于整合——标准连接器和尺寸出色的效果——优质薄膜特性特点:弹性密封VCR,VCO,及Swagelok共容的连接满标度流量范围为10sccm-200slm常关或常开的电磁控制阀***大的净化模式流量——校准后***多100次泄漏率为1x10-6atm-cc/secofHe)