Aera®FC-7800系列MFC提供***的流量控制以***的抗阻性能和超***漏的金属密封，适合大部分气体控制用。性能：快速的响应,响应时间＜2秒.***的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5%易于整合——标准连接器和尺寸出色的效果——优质的薄膜特性特点:耐腐蚀性，流量范围从10sccm－200slmVCR®、VCO®及Swagelok®共容性连接全金属密封常关或常开的电磁控制阀泄漏率1x10-10atm-cc/secofHe)