BROOKS流量计,SLA5851S,多晶硅炉用
SLA5851流量计是美国BROOKS流量计公司主要产品,具有优越的性能.BROOKSSLA5851质量流量计安装方便,能很好的同现有的工业仪表兼容,在不同的工作环境下均有较高的精度.美国BROOKS流量质量控制器技术参数:数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体流量范围:0.03-30slpm***大工作压力:1500psi(10.432Mpa)气路接头:1/4"VCR或1/4"SWG电气接头:15PinsD-Type或Card-edge精度:&plu***n;1%FS信号输出:RS-232/RS-485接口,4-20mA输出控制,TTL报警SLA5851流量计内置微处理器,智能化、数字化。软件组态,数字通讯,支持微软Windows动态数据交换。流量范围:0-30L/MIN;精度:1%FS;***大压力:1500psi;***高温度:65℃;输入/输出:0-5V;电源:+/-15V上海网磁电子有限公司***供应美国原装、全新的质量流量计-MFC,BROOKS。***用于制造单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用,适用的气体有氮气、***气、氢气、氧气等纯净气体。气体的***大量程:50-120SLM,数字和模拟兼容电气接口:D型15针管道接口:3/8"VCR交货周期:4周左右,长期订货,周期还会短。可以完全替代和兼容MKS的相关流量计。)
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