随着科学技术的不断发展,真空检测应用技术在不断地更新,氦质谱检漏技术也在不断扩展到更广阔的领域当中。为提高产品合格率和生产效率,不应一味沿用的古老且落后的手段处理泄漏问题。由于氦是惰性气体,对大气无污染,使用比较安全;而且氦的原子量小、粘度小,容易渗透过任何可能存在的漏隙,因此检测灵敏度高、速度快、适用范围广;另外氦在大气中含量少(仅万分之五),离子质量与其它气体离子质量相差很大,不易受干扰,错判几率小。西安世豪电力科技有限公司与大家详述：真空检漏工作针对的就是漏气，也叫实漏，是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙，从高压侧流向低压侧。一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有：抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。目前大多数标准真空漏孔的漏率都是采用He在漏孔入口压力为1kPa下标定的，而实际工作中常需要校准真空漏孔在非He和漏孔压力大于一个大气压下的漏率。气体和压强都会对漏孔的漏率产生一定的影响，因此，为了获得更为精却的漏孔漏率，有必要研究气体和压力对真空漏孔漏率的影响。真空检测公司通过改变漏孔入口端气体种类和压力，对同一真空漏孔进行了漏率标定，并初步研究了气体种类和压力对漏孔漏率的影响。)