半导体工业的气体监测***---德尔格Polytron3500基于裂解原理，用于连续监测环境中的***如NF3，和氟化物如***F6,C5F8。Polytron3500变送器集所有必要功能位一体，如气体采样，处理和分析。选择性监测选择合适的热解炉内部温度和合适的传感器，可对三氟化氮NF3或氟化/氯化有机化合物（如***F6、C5F8和其它PFC）进行选择性监测。使用方便该热***基本无需操作上的设置或调整。4至20mA输出信号外加特殊状态信号可直接连至另一系统做进一步信号处理。安装快速而简单分体式设计理念——由安装基座和变送器主机构成，可以节省时间和成本。基座可以预先安装。设备试运转时，主机可通过插锁方式与基座连接，预热过后即可投入运行。测量结果可靠采用***前沿电子技术以及全屏蔽金属外壳，使得德尔格变送器具有***的抗射频干扰性能。内置泵和高温裂解炉持久耐用，能够长期可靠运行。***分流系统采用无干扰测量模式（针对常规流速0.5-1.5l/min）。)