一、设备名称及型号：1.1名称：全自动碱腐蚀机1.2型号：NXXD-8SA-08-A二、设备用途：2.1适用于4-8英寸硅片腐蚀清洗处理，设备除人工上料下料外，均采用机械手传动清洗，减少人的参与，增强清洗质量。三、设备结构及特点概述:3.1设备形式:室内放置型;3.2能力设计:一天工作24H/天3.3设备结构:-此设备清洗装置主要由：清洗主体(槽体部分/管路部分等),机械手，机械传动，抽风系统,电器控制，上下料台，水枪，***、等部分组成;3.4设备特点:-腐蚀漂洗能力强,性能稳定,安全可靠;-设备成本合理,自动化程度高,使用成本低;-技术***,结构合理,适宜生产线批量生产使用;四、工艺流程及工艺细节:4.1工艺流程（采购方提供）:将工件放在上料台→SC-1槽→DIW槽→碱腐蚀槽→DIW槽→酸槽→DIW槽→下料台（或根据不同工艺，通过软件编程，设置几套不同的清洗程序，对清洗顺序，清洗时间等进行调整）五、主要技术参数：5.1整机尺寸(参考)：6500mm(L)×2200mm(W)×2500mm(H)；主要材料：优质磁白10mmPP板，优质不锈钢骨架；两套机械手；彩色触摸屏DI***路及构件采用国产优质PP管材，需满足10--15MW去离子水水质要求；设备顶部装有照明灯；5.2SC-1槽（2#）数量：1套；清洗液：NH4OH+H2O2+DIW加热温度：80&plu***n;1℃（内置式加热4KW）供液方式：自动，槽内设置高液位和低液位传感器，对槽内加热系统进行保护，同时又通过液位传感器来控制补液；槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；排液方式：泵排或重力排液槽体材质：进口优质PVDF板热弯/焊接组合加工；超声系统：40KHZ,2KW(功率可调)配自动开启透明PVC材质盖，氨气挥发。DIW水带自动和手动开启功能；设置储液槽，容积20L；抛动机构：抛动电机+偏心轮等传动机构进行上下抛动；抛动幅度20-60可调。5.3DIW槽（3#）数量：1套；清洗液：DIW温度：70&plu***n;1℃（内置式加热4KW）供液方式：自动，槽内设置高液位和低液位传感器，对槽内加热系统进行保护，同时又通过液位传感器来控制补液；槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；清洗方式：溢流+***+喷淋排液方式：***槽体材质：进口优质10mmPVDF板热弯/焊接组合加工；槽体结构：溢流+***+喷淋超声系统：40KHZ,2KW(功率可调)抛动机构：抛动电机+偏心轮等传动机构进行上下抛动；抛动幅度20-60可调。5.4碱腐蚀槽（4#）数量：1套；清洗液：NAOH+DIW加热温度：120&plu***n;1℃（内置式加热6KW）供液方式：自动，槽内设置高液位和低液位传感器，对槽内加热系统进行保护，同时又通过液位传感器来控制补液；槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；排液方式：虹吸排液槽体材质：进口优质PVDF板热弯/焊接组合加工；超声系统：40KHZ,2KW(功率可调)配自动开启透明PVC材质盖，氨气挥发。DIW水带自动和手动开启功能；设置储液槽，容积20L；抛动机构：抛动电机+偏心轮等传动机构进行上下抛动；抛动幅度20-60可调;顶部设有100洁净单元，提高设备局部净化级别。5.5DIW槽（5#）数量：1套；清洗液：DIW温度：RT供液方式：自动,带流量计，进水速度可控槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；清洗方式：溢流+***+喷淋排液方式：***槽体材质：进口优质10mmPP板热弯/焊接组合加工；超声系统：40KHZ,2KW(功率可调)5.6酸腐蚀槽（6#）数量：1套；清洗液：醋酸+HF+DIW加热温度：70&plu***n;1℃（内置式加热4KW）供液方式：自动，槽内设置高液位和低液位传感器，对槽内加热系统进行保护，同时又通过液位传感器来控制补液；清洗方式：溢流+***+喷淋槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；排液方式：***槽体材质：进口优质PVDF板热弯/焊接组合加工；配自动开启透明PVC材质盖，防止酸气挥发。设置储液槽，容积20L，药液可循环使用（加过滤系统）；抛动机构：抛动电机+偏心轮等传动机构进行上下抛动；抛动幅度20-60可调。5.7DIW槽（7#）数量：1套；清洗液：DIW温度：50&plu***n;1℃（内置式加热4KW）供液方式：自动,带流量计，进水速度可控槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；清洗方式：溢流+***+喷淋排液方式：***槽体材质：进口优质10mmPP板热弯/焊接组合加工；超声系统：40KHZ,2KW(功率可调)抛动机构：抛动电机+偏心轮等传动机构进行上下抛动；抛动幅度20-60可调。5.8上、下料台（1#、8#）台面尺寸：台面材质：PP清洗液：下料喷淋下料控制：下料位有感应器，一旦有花篮到达下料位，将有声光提示操作员取料，并切传送装置向前推进一步，进入下一工位。5.9设备排风系统设备设有排风装置；排风装置（排风压力、风量根据实际情况或客户要求设计）将设备内挥发的***气体抽到车间排风管道或户外（室外排放遵守***环保要求），避免扩散到室内；排风通道内设有风量导流板，从而使排风效果达到***佳；本体顶部后方设有3个风道口装置，排风口直径大于或等于200mm与本体焊成一体；排风口处设有手动调节风门，操作人员可根据情况及时调节排风量；5.10给排水/废液系统给水管路为英制接口，一路去离子水；排废液系统分为两路，一路排清洗水，一路排放废酸废碱药液；给排水排废接头均为活性连接；5.11设备电器系统设备采用欧姆龙PLC可编程控制器，控制设备的全部运行过程，即可全自动操作也可转换为手动操作；人机操作界面为触摸屏，操作程序中有手动操作、故障报警、安全保护等功能，各工位有完成提示报警功能；操作界面可设置密码锁定，防止非本岗位人员误操作；设备照明：设备配有照明灯，操作面装有插座；设备整体采取人性化设计，方便操作；并装有漏电保护和声光报警提示装置，保证性能安全可靠；电控部分导线采用耐高温、耐腐蚀的专用导线，可防水耐腐蚀；设备所有处于腐蚀腔中的线缆均通过PE管进行保护，免受腐蚀；所有的电控系统均装有漏电保护器接，并有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；)