IDS-108工业测量显微镜测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体，集成电路的检验和***测量。配备有冷光源光纤反射照明，成像和观察系统，偏光装置。技术参数1.无限远光学系统,管镜焦距200mm2.铰链式三目镜筒,30°倾斜，瞳距55-75mm3.高眼点、视场目镜WF10X/224.五孔物镜转换器5.长工作距离平场复消色差物镜PlanApo2X/0.055W.D.34.6mm分辨率5μm,PlanApo5X/0.14W.D.45mm分辨率2μm,PlanApo10X/0.28W.D.34mm分辨率1μm,PlanApo20X/0.29W.D.30.8mm分辨率1μmPlanApo50X/0.42W.D.20.5mm分辨率0.7μm6.调焦系统同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm7.物台6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm8.三维测量系统分辨率：1μm测量精度:&plu***n;(2+L/200)μm重复***精度:2μm照明系统IlluminationSystem9.冷光源光纤反射照明器：12V150W，特别明亮清晰10.选配：完善和***的测量软件完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)坐标系的设定，摆正,旋转显示方式多样化；语言的转换，公英制单位的转换,角度的转换奥林巴斯显微镜)