CCQ-型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。主要技术性能适用范围（Pa）10∧5~1.3×10ˉ7阀门漏率（Pa.L/S）DN≤200为≤1.3×10ˉ7DN≥250为≤6.7×10ˉ7阀门烘烤温度（℃）≤150（除传动装置外）开阀时阀板两侧压力差（Pa）≤2.7×10∧3起源压力（MPa）0.4~0.6电源压力标准出厂：AC220V/50Hz特殊指定：AC110V;DC24;DC12V等信号反馈标准出厂：不带反馈信号特殊指定：磁性开关DC/AC5~240V)