高纯气体氢(H2)Hydrogen纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities(≤,ppm)99.9999N2O2COCO2THCH2O0.020.010.020.020.020.5099.999O2THCH2O3.03.03.0氮(N2)Nitrogen纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities(≤,ppm)99.999H2O2THC+CO+CO2H2O1.03.03.03.0***(Ar)Argon纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities(≤,ppm)99.999H2O2THC+CO+CO2H2O1.02.02.04.0氧气(O2)Oxygen纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities(≤,ppm)99.999H2OTHCCOCO2ArKrN20.500.200.500.503.002.005.00二氧化碳(CO2)CarbonDioxide纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities(≤,ppm)99.999O2N2THCH2O2.02.02.099.99520.05.01.04.099.9540.010.01.010.0)