氦(He)Helium纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities(≤,ppm)99.999H2O2NeN2COCO2CH4H2O0.51.02.01.00.20.20.24.099.995NeCOH2CO2O2+ArCH4N2H2O1.01.03.01.03.01.010.010.0***(Ne)Neon纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities(≤,ppm)99.999N2HeO2COCO2THCH2O3.010.01.01.01.01.01.099.99N2CO2CH410011***(Kr)Krypton纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities(≤,ppm)99.997HeH2O2N2COCO2CH4H2O3.0,2.02.05.01.00.55.01.099.99XeH2O2+ArN2COCO2CH4H2O5.02.05.015.01.01.01.03.0氙(Xe)Xenon纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities(≤,ppm)99.995N2ArCOCO2THCH2ON2OH2+Ne25.05.01.05.01.01.01.05.099.99COCO2CH4H2ON2O1.0