常见混合气体用途组份名称与常用浓度范围平衡气照明混合气Ar0.01-3%NeAr30-50%NeAr30%KrN212-17%ArKr1-5%Ar5-30%N2Xe3-7%Ne1-5%Ar5-10%HeCH3Br0.1-1%Kr激光混合气体CO210-34%HeCO24.5—16%N210—25%HeH21%CO4%CO216%N216%He还原混合气体H230-70%N2CO20-50%N2H25-15%N2焊接混合气体O21-5%ArCO210-20%ArO2&nbsp1-2%ArCO21-5%ArCO25-10%ArHe30-40%ArHe50-80%Ar射线测定CH410%Ar消***菌C2H4O10-20%液体CO2Cl22-20%N2细胞培养CO25%O2检漏He0.5-10%N2或Ar特气混合气体类别浓度范围配置允许误差分析准度特气混合气（10-99）×10-6组份的&plu***n;10%&plu***n;3%（100-999）×10-6组份的&plu***n;5%&plu***n;2%（0.1-50）%组份的&plu***n;5%&plu***n;2%项目指标H2,10-2≤0.1O2,10-6≤5H2O,10-6