四氟化碳、四氟***、CF4、R14物理化学性质四氟***（CarbonTetrafluorideorTetrafluoromethane），亦称全氟化碳，四氟化碳，PFC-14（R14）。分子式：CF4。相对分子量：88.00。在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。液体密度（-130℃）1.613g/cm3，临界温度-45.67℃，临界压力3.74MPa，蒸气压（-150.7℃）13.33kPa，介电常数（25℃，0.5MPa）1.0006。挥发性较高，是***稳定的有机化合物之一，在900摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1MPa下其溶解度为0.0015％（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生***氟化物，属于***性类别为第2.2类不燃气体。气体纯度:四氟***>99.999%,氮气<5ppm，氧气<2ppm，总烃<1ppm，***<1ppm，二氧化碳<1ppm，水<2ppm，气体包装:40L钢瓶,30kg/瓶,32kg/瓶。阀门型号：CGA660，或CGA580、CGA590。或按客户要求。用途：四氟***是目前微电子工业中用量***大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。包装运输：四氟化碳（四氟***）对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5MPa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验一次，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。)