黄光室是进行IC晶片微影成像术的区域，将光阻材料利用旋镀法被覆在晶园上，而后再放置于***机下进行***，以使紫外线光源透过光罩照射于光阻而得到感光图像，***后再以药剂进行显影而得到实际图像。早期***机的光源为全光谱光源，后演进到G-LINE（436mm）光源，目前***为广泛使用的为I-LINE（436mm）光源，对于0.3ūm线宽以下的IC制程，则需采用深紫外线（deepUV）248mm光源，甚至X光或电子束，目前光源较采用高压***（***）弧灯，由于其特性频谱，所以须经过滤光片以获得所需的I－LINE(365mm)光线。为了避免光阻在***前、***后受到***机以外的光线照射而***，所以整个作业必须在黄光室下进行，换言之，所有照明用的光源须加以过滤，照明灯底罩及各式隔间门及窗皆应具有过滤波长380mm紫外光的能力。但必须注意的一点，有些***透明板虽然具有黄光，但对于紫外光却未完全隔绝，严格来说，这是不合格的产品。因为常被用于黄光室的5mm***压克力板，在I－LINE（365mm）附近确有不少的穿透率。黄光膜基本描述：颜色描述金黄厚度（密尔/mil）2mil透光率%35隔热率%23紫外线隔断率%99入箱标准（米/M）1.52M(宽)×12M/30M/60M(长)●阻隔紫外线：保***体健康，防止家具褪色;●防眩光：阻挡太阳刺目的眩光，防止光污染，保护视力;●防爆防震：减少意外伤害，构筑“隐形防盗网”保护私人财产;●隔热保温：调节室内温度，从此告别空调“烧钱”的困扰;●装饰美观：美化建筑物的整体外观效果，改善室内环境;)