高纯硅烷分析色谱系统名称硅烷中杂质分析检测系统。设计思路我公司设计的“高纯气分析检测系统”包括以下主要设计思路：●专台专用，在完全满足检测要求的前提下，优化组合配套；●仪器的选型配套，要符合实验室的使用要求，并且便于分析人员的操作；●提供人性化的售后服务和支持，保证使用方能独立操作。技术优势我公司设计的“高纯气分析检测系统”方案拥有以下技术优势：●色谱仪的核心部件----检测器完全基于爱尔兰AGC公司的自主研发，具有较高的灵敏度、较好的稳定性；●色谱仪的气路系统----独到的中心切割、反吹系统技术，可以一次完成多种复杂成分的分析检测；●色谱仪的软件系统----专门为AGC色谱配套研发的TrendVision，除完成测试报告、自动分析/存储数据，自动绘制谱图、反控气相色谱、调节保留时间及各种切割动作外，最多可同时控制4台分析仪器；●本方案中所配套的露点仪，为行业内先进的气体分析仪器，可以完全满足实验室高纯气体的检测。方案详解方案总述●硅烷中H2、O2、N2、CH4、CO、CO2杂质分析推荐仪器：AGC100DID气相色谱仪数量：1台●特气分析专用吹扫系统一套硅烷中H2/O2/N2/CH4/CO/CO2杂质分析----AGC100DI检测器工作原理放电离子化检测器的结构如图1所示。该检测器由电离室和放电室两部分组成，两室之间有狭路相通。当在放电室内的两个高压电极上加以适量高压电后，两电极之间就会产生放电，从而得到一束高能量的紫外光辐射(400－500nm)。高能紫外光被引入射向电离室内，在这过程中，高能光子直接照射样品成份中被测杂质分子，使其电离形成离子，或者高能光子首先将载气氦原子激发至亚稳态(He*)，然后具有较高能量的He*再与样品中杂质分子发生非弹性碰撞并使其电离。此时在集电极上加以适当电压收集被电离的杂质分子，并将其信号放大记录即得到被测成份的谱峰。由于光子具有较高能量(24.8ev)，因此可使包括氖在内的一切物质分子电离，所以，DID是一种高灵敏度、通用型检测器。图1：DID检测器技术数据型号、厂家AGC100DID、爱尔兰AGC仪器有限公司DID检测器灵敏度：CH4≤5ppb线性范围：＞106柱箱温度范围室温～250℃升温精度＜±1％载气超纯氦＞99.999%放电气体超纯氦＞99.999%驱动气清洁干燥空气电源要求220V，50/60Hz样品气进口连接方式1/8″VCR安装方式支架式供货组成及系统流程图AGC600DID色谱仪组成(如图2所示)：数量1.色谱柱分离系统色谱柱类型：填充柱1套填充物类型：5A分析筛、Hayesep，脱氧柱2.控制阀系统进样阀：十通电磁阀1组切割控制阀：八通，四通电磁阀2组3.分析检测系统DID检测器1套专用电源1个4.数据分析系统AGC专用工作站TrendVision：除完成测试报告、自动分析/存储数据，自动绘制谱图、反控气相色谱、调节保留时间及各种切割动作外，最多可同时控制4台色谱仪，图2所示。1套电脑1台