518系列－高精度2D二维测量系统：●带0.1μm/0.4μm分辨力/重复精度的指示精度可达（1.1+0.6L/600）μm。●高精度测高仪加入了广泛的测量功能。●为了达到***的精度，使用高精度反射性线性编码器和高精度导轨。●测量可以通过图标命令来执行，同时，也支持一键操作，保证正面的垂直度为5μm，直线度为4μm。●使用TFT液晶显示屏，以达到***的可视性和可操作性。●气体全浮/半浮系统可进行空气浮动高度调整。●配有基本的统计功能，另外，RS－232C数据输出可通过连接计算机上的SPC软件，进行外部测量数据评估（可选）。●精密黑色花岗岩平台。●数据备份/***，测量工件程序可通过USB存储设备来执行（FAT16/32兼容格式）。)