供应电子工业用水设备、超纯水设备、 半导体、集成电路芯片清洗用高纯水设备
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质,同时伴有对硅、尘粒、有机碳、微生物等物质含量的要求各不一。详细情况请联系:余艳13073396006,***:674831270电子工业用超纯水的工艺流程电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种:1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→沙、碳过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙、碳过滤器→精密过滤器→反渗透设备→原水箱→纯水泵→混床→后置精密过滤器→纯水箱→用水点3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式,这是一种制取超纯水的***新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙、碳过滤器→保安过滤器→一级反渗透设备→原水箱→二级反渗透设备→纯水泵→电去离子(EDI)→纯水箱→输送泵→UV灯→精混→精密过滤器→用水点4、采用反渗透+混合床方式,其流程如下:原水→原水加压泵→砂、碳过滤器→保安过滤器→反渗透→中间水箱→中间水泵→混合床→微孔过滤器→用水点详细情况请联系:余艳13073396006电子工业用超纯水的应用领域1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;2、超纯材料和超纯化学***;3、实验室和中试车间;4、汽车、家电表面抛光处理;5、光电产品、液晶显示器6、其他高科技精微产品;表1显像管、液晶显示器用纯水水质项目单位电阻率MΩ·cm(25t)***个/ml微粒个/mlTOCmg/LNa+μg/LK+μg/LCuμg/LFeμg/LZnμg/L黑白显像管彩色显像管液晶显示器≥5≥5≥5≤5≤1≤1≤10(Φ>0.5μ)≤10(Φ>1μ)≤10(Φ>1μ)≤0.5≤0.5≤1≤10≤10≤10≤10≤10≤10≤8≤10≤10≤10≤10≤10≤10≤10≤10表2集成电路(DRAM)对纯水水质的要求[4][5][6]集成电路(DRAM)集成度16K64K256K1M4M16M相邻线距(μm)42.21.81.20.80.5微粒直径(μm)0.40.20.20.10.080.05个数(PCS/ml)<100<100<20<20<10<10***(CFU/100ML)<100<50<10<5<1<0.5电阻率(μs/cm,25℃)>16>17>17.5>18>18>18.2TOC(ppb)<1000<500<100<50<30<10DO(ppb)<500<200<100<80<50<10Na+(ppb)<1<1<0.8<0.5<0.1<0.1详细情况请联系:余艳13073396006,***:674831270电子工业部高纯水水质试行标准[39]化学指标单位:μg/L序号水质项目一级高纯水指标二级高纯水指标1电阻率(25℃)MΩ·cm≥15≥102电导率,μs/cm0.050.13PH值6.8~7.26.6~7.44***总数,个/mL<3<95微粒(直径>0.5μm,粒/mL)<150<3006二氧化硅<10<207有机物(以COD计)<0.3<0.58钠Na<0.5<29铁Fe<1<210铜Cu<0.5<111钙Ca<1<312镁Mg<0.2<113锌Zn<0.5<114锰Mn<0.2<0.5说明:①一级高纯水适用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。②二级高纯水适用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。③本表按1980年电子工业部标准摘录。DRAM微电子工业水质标准LED(TFT)256KDRAM1MDRAM4MDRAM16MDRAM64MDRAM线宽度(um)-1.4-1.80.8-1.00.4-0.60.2-0.30.1电阻率(Mohm,25℃)>18.0>17.5>18.0>18.0>18.1>18.1TOC(ppb)<20<100<30<10<3<1微粒(No./ml)(0.1μ)<10/ml(0.2μ)<50/ml(0.1μ)<10/ml(0.05μ)<30/ml(0.03μ)<10/ml(0.03μ)<5/ml***(CFU/ml)<1/100<10/100<1/100<5/1000<5/1000<5/1000溶解氧(ppb)<50<100<100<50<5<3二氧化硅(ppb)<5<10<5<3<1<0.5硼(ppb)--<20.050.050.05钠(ppb)<0.1<0.2<0.1<0.10.050.01钾(ppb)<0.1<0.3<0.1<0.10.050.02锌<0.05<0.1<0.05<0.050.020.02铁<0.05<0.05<0.050.020.02铜<0.05<0.05<0.050.0050.005氯化物<0.1<0.2<0.10.10.020.02***化物<0.1<0.10.050.020.02***<0.1<0.10.050.020.02***盐0.1<0.20.050.050.05不溶残渣<0.30.10.050.050.05我国电子级水质技术指标(GB11446-1-89)化学指标单位:μg/L指标EW-ⅠEW-ⅡEW-ⅢEW-ⅣEW-Ⅴ电阻率MΩ·cm(25℃)1890%时间***小171590%时间***小121090%时间***小8≥2≥0.5大于1μm微粒数,***大值,个/mL1510100500大于0.5μm微粒数,***大值,个/mL10030050010002000***个数,***大值,个/mL151050100总有机碳含量,***大值5010020010001000二氧化硅总含量,***大值220501001000氯含量,***大值0.5210100500铜含量,***大值0.22550500钾含量,***大值0.55101001000钠含量,***大值00.5610200500锌含量,***大值0.2210100500铝含量,***大值0.5510100500铁含量,***大值0.5510100500钙含量,***大值0.5510100500因为直接是生产厂家,故价格便宜,***服务及时、周到。详细情况请联系:余艳13073396006,***:674831270你所有的问题我们都会细心为你解答!)
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