应用领域：该设备主要应用于集成电路、发光二极管、太阳能电池基片、铌酸锂、压电陶瓷、石英、***化***、蓝宝石、氧化铝、氧化铁、玻璃等材料的划切加工。特点：空气静压主轴，刚性好、精度高、寿命长。X轴及θ轴采用伺服驱动系统，调速范围宽，低速运行平稳。Y轴采用光栅尺闭环控制，精度高。Z轴重复***准确，切割深度可补偿。采用工控机控制，状态实时监控可靠性高。卤素灯+光纤传导照明，图像清晰，对准方便。Windows软件运行平台，人机界面友好，多套工艺方案可编程，操作方便简单。说明：压缩空气：0.55Mpa,300L/min冷却水：0.3Mpa,2.0L/min人机界面及相应功能，可以根据顾客要求进行定制)