1.主要用途：该款设备是全自动Pla***a增强CVD系统（PECVD），连续可控温度以及Pla***a强度等，配备真空系统，可以低压条件下实现工艺，PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光相对均匀等效，很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，该设备炉管可360°旋转，有助于粉料的烧结更均匀，可大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0-35°之间，所有物料经过的管道都选用非金属材质，如：进出料腔体选用石英材质，推料杆选用石英及聚四氟材质。2.结构与原理图：结构图设备组成：加热系统，Pla***a系统，进料系统，出料系统，气体控制系统，低真空系统，气料分离系统，过滤系统，炉管转动系统，电控操作系统。（1）加热系统：该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，适合中低温度加热系统。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。额定功率4KW额定电压AC220V50/60Hz***高温度1200度使用温度1100度设备尺寸长*宽*高2100*600*1200mm炉管尺寸Ø60*420*2+Ø100*360mm*炉管旋转速率0~60r/min炉体倾斜角度0~35°炉膛材料氧化铝、高温纤维制品热电偶类型K型热电偶控温精度&plu***n;1℃控温方式30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为10”液晶触摸屏控制加热长度200mm+200mm恒温长度250mm加热元件电阻丝（2）Pla***a系统：本系统借助于辉光放电产生等离子体，辉光放电等离子体中，电子密度高，通过反应气态放电，有效利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式。（3）进料系统：送料系统速度连续可调，停止送料且炉体倾斜***大时，物料不会从送料系统外漏，送料系统方便拆卸，拆卸后可手动加料，设备可正常运行。（4）出料系统：出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料。（5）气体控制系统：该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的，也可以***控制，质量流量计安装于密封的可移动的机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。连接头类型双卡套不锈钢接头标准量程（N2)***路:200SCCM第二路:500SCCM准确度&plu***n;1.5%F.S线性&plu***n;1%F.S重复精度&plu***n;0.2%F.S响应时间气特性：1～4Sec，电特性：10Sec工作压差范围0.1～0.5MPa***大压力3MPa接口Φ6,1/4''显示4位数字显示工作环境温度5~45高纯气体压力真空表－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格截止阀Φ6内外双抛不锈钢管Φ6（6）低真空系统：该系统配备真空机械泵，可以抽真空，可以让设备在真空环境下进行反应。空气相对湿度≤85%工作环境5℃～40℃工作电电压220V&plu***n;10%50~60HZ功率1KW抽气速率10m³/h极限真空5X10-1Pa工作压力范围1.01325X105～1.33X10-2Pa耐压值0.03MPa容油量1.1L进气口口径KF25排气口口径KF25噪音50dB外形尺寸600×600×600mm连接方式采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连（7）气料分离系统：该系统可以让设备在充气体保护或者抽真空时，实现气体与物料的分离。（8）过滤系统：该系统可防止物料进入真空泵，保证真空泵的正常运行。（9）炉管转动系统：炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行。3.技术指标：（1）该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀；（2）整个炉子和送料、收料系统能够一起倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间可调；（3）送料系统送料速度连续可调，停止送料且炉体***大倾斜时，物料不从送料系统外漏。送料系统方便拆卸，拆卸之后可以手动加料，设备可正常运行。（4）炉管回转稳定，不会上下左右跳动；转速在0~60r/min连续可调，能在60r/min转速下连续长期运转(>24h)。（5）炉子转速，加料速度，倾斜角度，真空度，气体流量，温度，运行时间，等离子体功率等参数都用数字显示，并在运行过程记录设备整个运行轨迹及上述参数（在工控及***电脑上均能实现）；（6）设备运行可分为手动模式与自动模式；自动模式下可实现高度自动化运行，所有参数程序设定好后自动运行：可实现按照设定程序连续工作，可设置多工作段不同参数，并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作；)