活塞式和涡旋式干泵
ECODRYM系列活塞式干泵Ecodry系列为欧瑞康莱宝***新推向市场的一种干式泵。它可以满足除半导体行仪以外的所有干式真空的需要。由于它相对于其他干式泵来说,结构简单,价合理,因此刚一面市、即受到广大格用户的欢迎。Ecodry活塞式干泵的主要技术参数:抽速:14m3/h~30m3/h极限真空度:5.5×10-2mbar排水蒸气能力:25mbar(***大)Ecodrg活塞式干泵的主要特点:1、结构简单,易于操作和维护;2、工作过程中不产生粉尘;3、耐粉尘,排水蒸气能力强;4、低能耗,坚固耐用,可靠性高;5、可以选配变频器增大抽速;典型应用:质谱仪,电子显微镜,照明,镀膜,loadlock,无油高真***级泵等。)
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