溅射薄膜压力传感器
溅射薄膜压力传感器PTG200溅射薄膜压力传感器其利用离子束溅射薄膜技术结合***的微电子工艺技术制造而成的不锈***性膜片。离子束溅射在电阻合金材料上,在膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变电阻,膜片变形使电阻的几何尺寸和阻值发生改变,电桥输出相应电信号。薄膜应变电阻与弹性体“融”为一体,组成全金属型敏感元件,无任何粘贴剂和紧固件,可长期在-40~125℃工作温度下稳定工作。应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、***设备、食品加工等多种自控和测量行业。主要技术参数:被测介质:气体,液体及蒸气压力类型:表压、绝压量程:0-0.6~120Mpa间任意可选输出:1.2~1.8mv/V综合精度:&plu***n;0.1%FS、&plu***n;0.25%FS、&plu***n;0.5%FS非线性:0.06~0.1%FS迟滞:0.02~0.05%FS重复性:0.03~0.06%FS零点温漂:&plu***n;0.01%FS/℃灵敏度温漂:&plu***n;0.02%FS/℃供电:5~15VDC输出阻抗:1.5~3KΩ绝缘电阻:≥1000MΩ/100VDC工作温度:-40~+85\125\150℃可选过载能力:150%FS电气连接:高温引出线压力连接:M10×1双"O"圈密封或用户指定接液材料膜片:17-4PH过程连接件1Cr18Ni9Ti相对湿度:0~95%RH密封等级:IP65)
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