*精细化工用水不会因再生而停机*节省了反冲和清洗用水*精细化工用水以高产率产生超纯水（产率可以高达95%）*无再生污水，不须污水处理设施*无须酸碱储备和酸碱稀释运送设施*精细化工用水减小车间建筑面积*使用安全可靠，避免工人接触酸碱*减低运行及维修成本*精细化工用水安装简单、安装费用低廉)