气浮工作台
●可配国内外各个厂家的直线电机和光栅尺●可配国内外各个厂家的直线电机驱动器、控制卡、工控机●可选购重防护型,用于精密超精密生产设备●上面可以装气浮转台(θ)●可以增加Z向●上面可以装微动台和反射镜,配合激光干涉仪,达到纳米级精度●可提供订制服务,提供不同行程、承载、速度和精度的一维气浮工作台气浮XY(θ、Z)工作台国内外***水平●可配国内外各个厂家的直线电机和光栅尺●可配国内外各个厂家的直线电机驱动器、控制卡、工控机●可选购重防护型,用于精密超精密生产设备●上面可以装气浮转台(θ)(T2-AB-04更适合)●可以增加Z向(T2-AB-04更适合)●上面可以装微动台和反射镜,配合激光干涉仪,达到纳米级精度●可提供订制服务,提供不同行程、承载、速度和精度的二维、三维、四维气浮工作台)
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