MSCT氮化硅探针用于接触式、轻敲式或力的测量，高灵敏度，弹性系数极低；每个基片有6个悬臂，弹性系数为0.01-0.50N/m，有锐化处理，包装数量：10根/盒针尖参数几何：各向异性针尖高度(h):2.5-8.0µm正面角(FA):15&plu***n;2.5°背面角(BA):25&plu***n;2.5°侧面角(SA):17.5&plu***n;2.5°针尖曲率半径(Nom):10nm针尖曲率半径(Max):40nm针尖缩进(TSB)(Nom):4µm针尖缩进范围(TSB)(RNG):0-7µm)