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数据处理CD测量数据。一般CDUniformity测试数据是一个矩阵。测量点数有7×7.9x9.11×11或13×13.CD测量数据一般分方向和Y方向的数据。由于***机的特性,通常Y方向的CD精度高于方向的精度。所以在做显影机!性能指标分析时,采用Y方向的CD值分析。数据分析软件。该软件是一个Excel文档,通过执行文档中的宏命令对CD数据矩阵分析,分离出各种因素对CD均匀性的影响。通常CD均匀性可分解成径向误差,拉丝面***显影公司,侧向误差和随机误差。由于我们的显影设备是旋转式喷淋,所以我们需分离出径向误差加以分析,通过一定补偿方法提高CD均匀性指标。显影配方中亚***钠用量的一般原则1)容易氧化的显影剂比不易氧化的显影剂用量要多。2)用强碱作促进剂的配方中,拉丝面***显影价格,亚***钠的用量要多些。这是由于显影剂在碱性较强的溶液中,氧化速度比较快l。3)显影液浓度低时用量多。这是因为显影剂在稀溶液中电离度增大,易氧化。4)微粒显影液中的亚***钠的用量较多。5)高温快速冲洗的显影液中,由于防氧化的要求较高,拉丝面***显影设计,一般用量多。测试步骤根据空白版供应商推荐的显影时间建立显影工艺的初始Recipe,拉丝面***显影,一般初始Recipe内容如下:掩模版停在高位,冲洗显影喷嘴和蚀刻喷嘴(先喷药液5秒,然后喷水10秒)掩模版降至底部,转速设置100rpm,显影喷嘴喷水浸润掩模10秒。显影喷嘴切换到显影液,显影时间参考空白版供应商建议。完成显影后,显影喷嘴切换到水冲洗15秒。改用Topbeam喷嘴冲水清洗掩模版,掩模版应上下移动以确保整个掩模版被冲洗干净。冲洗完成后,蚀刻喷嘴喷水冲洗10秒,然后切换到蚀刻液。蚀刻时间参考Etchtoclea则试结果。完成蚀刻后,蚀刻喷嘴切换到水冲洗15秒。改用Topbeam喷嘴冲洗掩模版。完成冲洗后,1000rpm旋转甩干。拉丝面***显影-拉丝面***显影公司-利成感光(推荐商家)由东莞市清溪利成感光五金厂提供。拉丝面***显影-拉丝面***显影公司-利成感光(推荐商家)是东莞市清溪利成感光五金厂()今年全新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取联系人:张应叙。)