直接热式质量流量计直接热式质量流量计控制器AX10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，AX10FC也同样适用。AX10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。产品应用产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。产品特点●直接热式原理，无层流元件●无压损,抗结晶,抗腐蚀●适用于各种低压和高压管道●***测量和控制气体的质量流量●预热时间短,零漂小，可靠性高●多种气体可选,也可自行输入技术参数技术指标AX10FC-RC质量流量控制器AX10FC-RM质量流量控制器量程范围小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM大量程:30SLM～2000SLM控制范围控制器20：1流量计20：1准确度流量：&plu***n;3%F.S压力：0.5%F.S温度：&plu***n;1℃线性&plu***n;0.5%F.S重复精度&plu***n;0.2%F.S响应时间100ms10ms数字量RS232/485，MODBUS协议模拟量0～5V、4～20mA、1～5V供电12V/24V/&plu***n;15V可选工作温度0～50℃工作压力工作压差：0.03～0.5MPa工作压降：<0.01Mpa***大耐压低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa电气连接DB15孔漏率1×10-9SccsHe温度系数&plu***n;0.015%F.S/℃底座材质316L密封材料氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶接头VCR1/4;swagelokφ6)