微小气体流量计 低耐压型质量流量计 气体流量控制器
微小气体流量计低耐压型质量流量计气体流量控制器AX10FC-L采用无热漂移,无响应滞后的差压质量测量原理,可以同时显示和输出:瞬时流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时,还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。显示器、键盘、通讯和多变量输出均是标准配置,具有手操器/显示仪/积算仪的全部功能。通过面板操作,可以完成以下内容:气体选择、单位选择、量程设定,报警点设定,阀门状态、自动校准等。与热式流量计不同,当使用气体转换系数时,V10FC-L没有附加的“比热容”误差。所以,即使测量气体与出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。产品应用产品广泛用于真空,镀膜,太阳能,半导体,石油石化,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析仪器等。产品特点●普通低压型,适于1Mpa以下非腐蚀的清洁气体●无热漂移,可以忽略的温移和时漂,长期稳定性0.1%F.S/年●准确度0.8%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定●瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出●无需预热,测量时无响应滞后●内置31种气体转换系数,无比热容附加误差,不影响精度●自动累计,分段累计功能技术指标AX10FC-LC质量流量控制器AX10FC-LM质量流量计量程范围小量程:5SCCM~10SLM中量程:10SLM~30SLM大量程:30SLM~250SLM控制范围控制器50:1流量计100:1准确度流量:&plu***n;0.8%读数&plu***n;0.2%满量程可选&plu***n;0.4%读数&plu***n;0.2%满量程压力:0.5%F.S温度:&plu***n;1℃线性&plu***n;0.5%F.S重复精度&plu***n;0.2%F.S响应时间100ms10ms数字量RS232/485,MODBUS协议模拟量0~5V、4~20mA、1~5V供电12V/24V/&plu***n;15V可选工作温度0~50℃工作压力工作压差:0.03~0.5MPa工作压降:<0.01Mpa***大耐压1MPa电气连接DB15孔漏率1×10-9SccsHe温度系数&plu***n;0.015%F.S/℃底座材质316L密封材料氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶接头VCR1/4;swagelokφ6)