INTEKIMS三次元VastLSSeries通过磁悬浮方式的滑动进行研磨并能彻底除去粉尘高速直线运动，***高能达到1000mm/sec的速度直接产生直线型驱动力，能将嗓音、能源消耗和摩擦系数降至***低具有***的精密***功能适用于INTEXIMS的革新的程序限度补正系统具有LCD、PDP等超大型测定用***佳结构可按照客户配置定制型号VastLSSeries范围X:500-2000mmorlonger(需定制)Y:600-3000mmorlonger(需定制)Z:100mm(LongerOption***ailable)测量准确度3.5+L/250(um)-5.5+L/250(um)测量准确度3.0+L/400(mm)包含BLM的承载能力25Kg-50Kg不包含BLM的承载能力500Kg-2000Kg分辨率0.1um电机LinearMotor(X,Y)andDCServo(Z)速度XY：300-500mm/sec；Z：100mm/sec加速度XY：500-1000mm/sec；Z：200mm/sec标准物质花岗岩轴承X与Y直线运动轴承电力220VAC，40Amp，3Phase,50-60Hz光学可编程12：1光学放大20x-245xwith1xObjectLens成像系统彩色CCD摄像机照明LEDCoaxialLight/LED背光源表面LED环形灯LED环形灯5Rings×8Sectors×40Segments线扫描激光器平整度激光扫描分析软件同轴激光器（可选）可补偿同轴激光器接触式探针RENISHAW接触式探针使用iTouch软件运动控制DCC，操纵杆，Mouse计算机Core2DUO/19〞LCD显示器/2GBRAM软件NewiView-PRO/WindowsXP运营体制平板固定装置（可选）气动式自动平板固定装置相关链接：http://)