INTEKIMS三次元Vast1500C型号Vast1500C范围1500×1200×100mm测量准确度3.5+L/300（um）测量准确度3.0+L/150（um）分辨率0.1um光学可编程12：1光学放大20x-245xwith1xObjectLens照明LEDCoaxialLight/LED背光源表面LED环形灯LED环形灯5Rings×8Sectors×40Segments线扫描激光器平整度激光扫描分析软件同轴激光器（可选）可补偿同轴激光器接触式探针RENISHAW接触式探针使用iTouch软件相关链接：http://)