1、进口行走机械臂，运行平稳。全自动控制行程模式，优良的制程调控能力，稳定的高产出率及低破片率，适用于批量生产线2、1800片（156*156）/小时超大产能。3、***完善的防酸防腐措施，保护到机器每一个角落，***新全自动补液技术。4、独特的硅片干燥前处理技术，保证硅片干燥不留任何水痕。5、成熟的硅片干燥工艺，多种***技术集于一身。6、彩色大屏幕人机界面操作，方便参数设置及多工艺方式转换)