1、设备主要应用于清除硅芯片上***印及表面污染2、进口超声波系统可选3、进口行走机械臂，运行平稳。全自动控制行程模式，优良的制程调控能力，稳定的高产出率及低破片率，适用于批量生产线。13910297918)