以下是INTEKIMS三次元Elite400C的具体参数：型号Elite400C范围400×300×150mm测量准确度2.5+L/250（um）测量准确度3.0+L/150（um）分辨率0.1um光学可编程6：5：1光学放大24x-157xwith1xObjectLens照明LEDCoaxialLight/LED背光源表面LED环形灯可编程LED3环形灯（标准）线扫描激光器平整度激光扫描分析软件同轴激光器（可选）可补偿同轴激光器接触式探针RENISHAW接触式探针使用iTouch软件相关链接：http://)