每秒100步超高速测试1116-71：1116-72：(***式单台面)1116-73：(含1945-21与1945-22同轴落射照明)1116-74：(***式单台面，含1945-21与1945-22同轴落射照明)1116-75：(***式双台面，含1945-21与1945-22同轴落射照明)***高5aF电容测试分辨率可进行多种电气性能测试极高的测试位置和重复位置精度标准配备自动光学对位功能没有测试盲区的吸真空固定方式***大610×510mm测试面积左右探针之尖***小接近距离为0.1mm,可对应精细节距焊盘配备探针软着陆功能，***大限度减小对焊盘冲击力可以对应薄至0.1mm厚的电路板因采用电容测试方式,可大幅度缩短测试时间)