原装全新kl3212总线端子模块原装全新BECKHOFF倍福PLC光刻系统的要求非常严苛：它们要快速、重复、经济***地批量制作高精度光掩码，尺寸***大为4m2。关键要求是激光束的***精度。这一切都基于一个具有高精度几何结构的减振机架、坚固耐用的高速自动化系统和***的测量值补偿。ArtecEngineeringGmbH的***董事TobiasReiter在对公司采用Beckhoff产品作为控制设备平台时的决策评价时说道：“我们决定选用Beckhoff基于PC的自动化系统是因为我们对系统精度及坚固性有着极为严格的要求。基于我们以往所积累的经验来看，我们深信该系统能够满足性能、稳定性及控制特性方面的高要求。”***现货，一手货源价格优势德国制造品质过硬库存充足全新现货倍福全系列优质服务提供技术支持欢迎新老客户朋友询价选购下单部分图片可能与实物不同为图片选择错误所致，欢迎来电联系曾双风医壶酒吧吧而思而已思酒换成数字与此同时，Kleo进行了大量的市场调研，证明了Beckhoff产品具备高速率、不受外界干扰（如振动影响）的特性。Kleo公司的光刻系统经理StefanScharl说道：原装全新kl3212总线端子模块原装全新BECKHOFF倍福PLC“通过我们的研究，以及FISWSteuerungstechnikGmbH与Stuttgart大学合作进行的有关激光光刻系统驱动尺寸课题得出的研究结果，加上Artec公司的大力推荐，我们***相信Beckhoff产品是我们的***佳选择。”机械设计是确保精度的前提原装全新kl3212总线端子模块原装全新BECKHOFF倍福PLC机架由一个手动放置（精度为2µm）的防振花岗岩基体、一个悬空的花岗岩架及两个悬空的滑块构成。激光和一个自动对焦系统安装在滑块上，它以1m/s的速度和10m/s2的加速度将激光二极管纵向移动到基底的上方。三吨重的花岗岩架将装置横向移动，***精度为2.5μm。压力系统控制对焦和激光束的横向偏移。为了制作出所需的结构，在运动过程中不定地对激光束进行脉冲。第2页共2页通过EtherCAT实现极速加工控制系统的核心部分是一台Beckhoff控制柜式工控机C6140（操作系统为WindowsXP***版）和TwinCAT自动化软件。“高速数据传输和处理是***激光***的前提条件。因此，我们只使用高性能组件，如工控机C6140、EtherCAT总线系统和EtherCAT端子模块。”TobiasReiter如是说。StefanScharl补充道：“这让我们能够获得高采样率、短周期时间（约50µs）和稳定的实时能力，它们都是激光束高精度***的基础。光刻系统的每根轴都有一个现场总线端子盒，用一根单独的电缆连接至控制柜。“这样可减少布线工作量和拖缆数量原装全新kl3212总线端子模块原装全新BECKHOFF倍福PLC，这一点对我们来说特别关键。”StefanScharl高兴地说道。“我们想要减少拖缆的使用量，用玻璃光纤来代替，以减少机械故障发生几率原装全新kl3212总线端子模块原装全新BECKHOFF倍福PLC。”“我们使用PROFIBUS连接现场总线端子盒和控制装置，包括PC和手持装置。由于EtherCAT具有开放性，其它协议，如PROFIBUS，也可通过总线端子模块系统轻松集成。”TobiasReiter解释道。借助Beckhoff驱动技术实现高精度***“直线电机用于移动龙门架和滑块，而自动对焦系统的部件则由伺服电机驱动。电机由BeckhoffAX2xxx系列数字式伺服驱动器驱动。结合TwinCAT自动化软件，我们能够******激光，且重复精度高。”TobiasReiter如此说道。“尽管滑块运动具有高动态性，我们仍能够实现匀速运动，在短暂的加速阶段后，速度公差小于0.01m/s。”直线电机为反向旋转。“这样一来，我们就能够避免高扭矩并可实现脉冲推力补偿。为了避免受到干扰，龙门架中两根电气***的直线电机借助TwinCATNCPTP通过耦合实现同步，精度可达5µm。”龙门架与滑块的每次移动都需要***和取消***空气轴承。“这一过程必须快速、***，位置上无任何变动。”StefanAX2xxx系列伺服驱动器，用于控制高动态直线电机Scharl阐释道。“Beckhoff控制器完全能够应对这一挑战。它们坚固耐用，甚至在从无摩擦到摩擦状态转换过程中也足以避免出现峰原装全新kl3212总线端子模块原装全新BECKHOFF倍福PLC谷。”长度测量传感器可监视当前的龙门架和滑块位置，并且，测得的数据直接通过伺服驱动器处理。***测量激光束的当前位置。位置数据在测量数值补偿单元中加以分析，并作为控制激光束***用压力系统的基础。“甚至可通过Beckhoff组件将外部驱动系统，如压力系统，集成入自动化解决方案中原装全新kl3212总线端子模块原装全新BECKHOFF倍福PLC，不会影响整个系统的性能。”StefanScharl说道。“由于外形小巧，并集成有EMC过滤器和可插拔式连接器，我们能够轻松地在控制柜中安装伺服驱动器。”TobiasReiter如是说。由于位置测量装置具有热敏性，功率电子元件安装在清洁室外的控制柜内。“为了确保能充分***，光纤电缆不能太长。第二个控制柜内包含有激光光纤耦合器，测量装置安装在系统附近的清洁室内，并在***过程中以与龙门架平行的方向移动。”StefanScharl说道。用于龙门架的直线电机和用于控制柜的驱动器通过PLC控制器作为主站和从站轴耦合。具有高度灵活性)