第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供***的重现性，重现性低于5Å。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业***地位。通过整合其行业***产品，DektakXT实现了***高性能。操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代Dektak台阶仪能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、***、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。DektakXTSpecificati***规格测量技术探针轮廓技术测量功能二维表面轮廓测量可选三维测量/样品视景可选放大倍率,1to4mmFOV探针传感器低惯量传感器(LIS3)探针压力使用LIS3传感器：1至15mg低作用力（选配）使用N-Lite+低作用力传感器：0.03至15mg探针选项探针曲率半径可选范围：50nm至25μm高径比(HAR)针尖：10μmx2μm和200μmx20μm;可按客户要求定制针尖样品X/Y载物台手动X-Y平移：100mm(4英寸)机动X-Y平移：150mm(6英寸)样品旋转台手动，360°旋转;机动：360°旋转;计算机系统64-bit多核并行处理器,Windows®7.0;Optional23英寸平板显示器软件Vision64操作及分析软件；应力测量软件；悬臂偏转；缝合软件；三维扫描成像软件减震装置减震装置可用扫描长度范围55mm(2英寸)每次扫描数据点***多可达120,000数据点***大样品厚度50mm(2英寸)***大晶圆尺寸200mm(8英寸)台阶高度重现性<5Å,1σ在1μm台阶上垂直范围1mm(0.039英寸)垂直分辨率***大1Å(6.55μm垂直范围下)输入电压100–240VAC,50–60Hz温度范围运行范围20到25°C(68到77°F)湿度范围≤80%,无冷凝系统尺寸及重量455mmWx550mmDx370mmH(17.9in.Wx22.6in.Dx14.5in.H);34公斤(75磅);附件：550mmLx585mmWx445mmH(21.6in.Lx23in.Wx17.5in.H);21.7公斤(48磅))