德国BMT WLI***
采用ACM600共焦显微镜可对物体的表面和结构进行非接触式的测量,评估和显示。装配不同的显微物镜,测量视场大小和精度也不同。视场的扩展可通过钉合的方式来实现。ACM600使用特殊的微透镜扫描盘,使采集的单个测量点相互平行。ACM600目前是***商业化的采用微透镜扫描盘的仪器。与尼普科夫扫描盘相比,微透镜扫描盘使光学系统反应快速,所以即使暗淡的表面也能够获得良好的测量结果。它的另外的独特之处在于采用了LED作为光源,避免了使测量头发热,因而它的寿命几乎可以视为无限长。仪器配备了物镜切换盘,可以快速转换物镜。检测物件的设定和测量全过程可以通过一个***的监视器观察。测量软件基于WindowsXP操作系统编制,并提供所有标准的评估程序。仪器结构紧凑,耐用,特别适用于工业用途。在微透镜扫描盘自动伸出后,仪器可作为普通的显微物镜使用。主要用途:粗糙和光滑表面的测量和显示亚微米范围内的微观形貌测量金相测量非接触式表面轮廓的计量主要特点0,1mm2到0,7mm2视场采用钉合方式扩大视场配置物镜切换盘确定垂直分辨率来设定测量时间横向分辨率可达1祄,垂直分辨率***高可到5nm具有采用微透镜扫描盘的快速光学系统全自动数据评估实验室和在线两用设计主要优点:高保真轮廓复现,对物体三维结构快速,非接触式的定性和量化测量结果与材料表面性能无关根据用户需求配置系统和软件无人干预全自动测量过程将微透镜扫描盘自动伸出后可作为普通的显微物镜使用采用压电驱动或步进电机进行垂直扫描软件:WindowsXP操作系统测量和评估软件包括下列功能:水平调整,图像缩放,轮廓线的提取,毛刺的剔除,过滤,数学计算,FFT,ACF,2D/3D粗糙度参数,面积的测定,斜度和波度的分布状态及其它。用户特定要求的计算方法技术数据:共焦显微镜头标准规格配置50x/0.8物镜带有微透镜扫描盘的扫描共焦传感器光源:LED寿命h:>50,000小时采用步进电机时的测量范围mm:50mm采用压电执行器件时的测量范围µm:100/150µm***高垂直分辨率nm:5nm***高横向分辨率µm:1µm工作距离mm:0.66mm视场µm:370x280µm256个高度台阶的测量时间s:约30秒重量kg:约12kg测量工作台X、Y、Z每轴位移mm:50mm***小步距µm:1µm)