1单质靶材：硼靶材,碳靶材,镁靶材,铝靶材,硅靶材,钪靶材,钛靶材,钒靶材,铬靶材,锰靶材,铁靶材,钴靶材,镍靶材,铜靶材,锌靶材,***靶材,锗靶材,硒靶材,靶材,钇靶材,锆靶材,铌靶材,钼钌靶材,铑靶材,钯靶材,银靶材,镉靶材,铟靶材,锡靶材,锑靶材,碲靶材,铪靶材,钽靶材,钨靶材,铼靶材,锇靶材,铱靶材,铂靶材,金靶材,铅靶材,铋靶材,镧靶材,***靶材,镨靶材,钕靶材,钐靶材,铕靶材,钆靶材,铽靶材,镝靶材,钬靶材,铒靶材,铥靶材,镱靶材,镥靶材.)