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FSF-150/600型复合分子泵
应用领域:光学玻璃镀膜工业;薄膜工艺;真空冶金;照明工业排气型号:FSF-150/600规格:FSF-150/600型号FSF-150/600抽气速率(l/s)600L/S压缩比N2>109压缩比H2>8×103极限压强(Pa)<2×10-8<1×10-7高真空法兰LF150CF150排气口法兰KF40启动加速时(min)<5min电机转速(n/min)24000n/min***小不平衡(mg)15mg建议采用前级泵机械泵4~8L/S充油量(ml)/安装方式垂直&plu***n;5°冷却方式水冷或风冷冷却水温度<20℃环境使用温度(℃)风冷<32℃水冷<40℃泵体烘烤温度(℃)<100℃泵重量(kg)30kg外形尺寸(mm)Φ280×416)