低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子攻击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后引发复杂物理、化学反应，使得复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或是使******物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物降解去除。其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。等离子废气净化器工作原理低温等离子体分解油雾、废气等污染时，等离子体中的高能离子起着决定性作用。流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。污染介质在等离子的作用下，产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被解脱。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链段裂，污染介质分解，并在等离子发生器附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能由污染介质成分决定发生各类的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质浓度以及共存的介质成分。)