技术参数膜厚范围：0-30000nm折射指数：&plu***n;0.0001厚度准确度：&plu***n;0.01nm入射角度：20-90°波长范围：250-1100nm（深紫外、近红外、红外可选）Psi=&plu***n;0.01°，Delta=&plu***n;0.02°主要特点高精度测量；变角度功能；全光谱测量；仪器介绍***高精度光谱椭偏仪！可以***测量折射指数、消光系数（n&K)，膜厚等，广泛适用于半导体、电介质、聚合物、金属等材料，单层薄膜和多层膜。***客户包括USArmyResearchLab，NASA，NIST，UCBerkeley，MIT，Harvard，Honeywell和SharpMicroelectronics等；根据客户需求，可提供不同型号：变角度单波长椭偏仪（632.8nm）；变角度多波长椭偏仪（532,632.8,1064nm,…）；变角度光谱椭偏仪（深紫外、紫外-可见-近红外光谱190-2300nm）；全自动光谱椭偏仪（深紫外、紫外-可见-近红外光谱190-2300nm）；红外光谱椭偏仪等；)