技术参数变温设计：采用真空和低压气体保护，温度范围RT~1000°C；曲率分辨率：100km；曲率重复性：<2×10-51/m；主要特点1.专利技术：MOS多光束技术（二维激光阵列）；2.变温设计：采用真空和低压气体保护，温度范围RT~1000°C；3.样品快速热处理功能；4.样品快速冷却处理功能；5.温度闭环控制功能，保证***的温度均匀性和精度;6.实时应力VS.温度曲线；7.实时曲率VS.温度曲线；8.程序化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、***积扫描；9.成像功能：样品表面2D曲率成像，定量薄膜应力成像分析；10.测量功能：曲率、曲率半径、应力强度、应力和翘曲等；11.气体（氮气、***气和氧气等）Delivery系统；仪器介绍***薄膜热应力测量系统，MOS多光束技术荣获美国专利技术！同时KSA公司荣获2008InnovationoftheYearAwardee！该设备已经广泛被******高等学府（如：HarvardUniversity2套，StanfordUniversity，JohnsHopkinsUniversity，BrownUniversity2套，KarlsruheResearchCenter,MaxPlanckInstitute，西安交通大学等）、半导体制和微电子造商（如IBM.，SeagateResearchCenter,PhillipsSemiconductor,NEC，NissanARC,NichiaGlassCorporation）等所采用；同类设备：薄膜应力测试仪（薄膜应力测量系统，薄膜应力计）；薄膜残余应力测试仪；实时原位薄膜应力仪；)