概述***材料在微纳米尺度物理缺陷和化学成分差异将对宏观性能产生重大影响，材料科技工作者需要从微纳米尺度掌握材料物理缺陷形成、成分差异演变、晶体结构组成的一般规律。针对这样的课题，使用扫描电镜（SEM）平台配套EDS/WDS/EBSD观察分析是***科学的解决方案。EDS作为SEM***常用的分析附件，使用Si半导体晶体对元素特征X射线展谱，自1970年代商品化以来，技术性能不断进步，当前技术，可在分秒间对微纳米尺度成分差异做出准确判断。分析报告包括材料微观图像和不同微观区域化学成分，全元素构成，元素百分比以及测量方差。WDS作为***早配合电子束探测材料微区元素组成的X射线分光仪器，特征X射线能量分辨率5-10电子伏，对微量成分定性定量精度比EDS提高一个数量级，目前在半导体，电子材料，地质矿物和特殊合金研究中广泛使用，但波谱分析逐个元素进行定量，比较耗时，对电子束束流稳定性提出更高要求。EBSD，采用高能背散射电子，对样品剖面做晶体衍射，从而获得微区晶体结构，取向，分布定性定量结果。在金属、陶瓷和地质学分析显微结构及织构中使用越来越广泛。【驰奔仪器】系列钨灯丝扫描电子显微分析平台驰奔仪器第二代钨丝枪系列扫描电镜，均采用***级电子显微成像技术，***设计电子显微分析附件探测器接口，优化探测器几何探测效率，是优良的扫描电子显微分析平台。Cube-200桌面台式电镜，可拓展简单易用的台式电镜专用能谱仪（EDS）；Genesis-I型分析电镜，可拓展***级X-ray能谱仪，定量更***；Genesis-II型分析电镜，可拓展***EDS、WDS、EBSD装置、CL等多种电子显微分析附件。Veritas-300型分析电镜，具有大型样品观察分析仓，可装备更多电子显微分析附件和微操作样品台。OXFORDINSTRUMENT牛津仪器电子显微分析装置（EDS/WDS/EBSD）3、波谱仪WDS:WDS是扫描电子探针标配，不同于能谱仪同时展谱方式，而是一个谱峰接着一个谱峰进行信号收集展谱，全元素谱采集需要逐个更换多个衍射晶体，因此扫描探针一般装备四道不同波段波谱探测器同时采集，提高了采集速度。而扫描电镜一般只能设计一道波谱的安装空间。波谱具有极高的谱峰能量分辨率，更高峰背比，元素定量精度和灵敏度比能谱高1~2个数量级。Genesis-II中型扫描电镜，和Veritas大型扫描电镜，可支持安装波谱。牛津仪器X射线波谱仪依然使用传统罗兰园对X射线进行衍射对焦，按照特征波长顺序逐个元素进行定量。波谱能量分辨率极高，极低的谱峰背底，从而可探测到EDS无法探测的痕量元素，并且定量精度大幅度提高。WDS-波长色散谱仪,简称波谱仪-相较能谱仪来说，波谱仪的能量分辨率更高，痕量元素准确定量更准，无论高能或低能X射线皆可在***优化的条件下采集……“令SEM的元素分析达到电子探针的准确度”Overview低于500pppm下准确定量分析分辨率小于10eV，有效区分EDS中重叠峰，如S/Mo等即使出现重叠峰，WDS也可以快速准确的辨别样品中所有元素分析痕量元素比EDS灵敏100倍SEM***准确的元素定量分析工具可以同时结合XPP算法支持的主元素使用ED分析，痕量元素WD分析，从而达到EPMA的准确度。INCAW***EWDS是使用于有如EPMA完全相同的全聚焦几何条件的SEM上***的谱仪。意味着分辨率提高2倍、更稳定、更***的测量。W***E是全聚焦谱仪，以其精度及准确著称于世。谱仪内部组件（晶体、探测器及测角仪）功能完全协调优化，具有超高精度，准确衍射条件保证测量精度的高重复性。样品的垂直***精度并不十分关键，因为谱仪安装于倾斜的罗兰圆上。易于所有操作人员获得***佳重复性的结果。同时也不需要像平行光谱仪所需要的光学显微镜的精准样品***的繁琐。能量分辨率低至2eV，有效分辨各种重叠峰极低的检测限，某些元素***低可测低于100ppm的含量标配能量范围高至10.8eV（15keV为选配）依据XPP算法的准确定量分析长达25年的发展造就可靠且强大的机械设计多种电镜皆适用，商业的，可变真空的，环境的，场发射的等等多种多种样品皆可获得准确结果，包括轻元素，低束流下（<5nA)获得高空间分辨率等)