概述***材料在微纳米尺度物理缺陷和化学成分差异将对宏观性能产生重大影响，材料科技工作者需要从微纳米尺度掌握材料物理缺陷形成、成分差异演变、晶体结构组成的一般规律。针对这样的课题，使用扫描电镜（SEM）平台配套EDS/WDS/EBSD观察分析是***科学的解决方案。EDS作为SEM***常用的分析附件，使用Si半导体晶体对元素特征X射线展谱，自1970年代商品化以来，技术性能不断进步，当前技术，可在分秒间对微纳米尺度成分差异做出准确判断。分析报告包括材料微观图像和不同微观区域化学成分，全元素构成，元素百分比以及测量方差。WDS作为***早配合电子束探测材料微区元素组成的X射线分光仪器，特征X射线能量分辨率5-10电子伏，对微量成分定性定量精度比EDS提高一个数量级，目前在半导体，电子材料，地质矿物和特殊合金研究中广泛使用，但波谱分析逐个元素进行定量，比较耗时，对电子束束流稳定性提出更高要求。EBSD，采用高能背散射电子，对样品剖面做晶体衍射，从而获得微区晶体结构，取向，分布定性定量结果。在金属、陶瓷和地质学分析显微结构及织构中使用越来越广泛。【驰奔仪器】系列钨灯丝扫描电子显微分析平台驰奔仪器第二代钨丝枪系列扫描电镜，均采用***级电子显微成像技术，***设计电子显微分析附件探测器接口，优化探测器几何探测效率，是优良的扫描电子显微分析平台。Cube-200桌面台式电镜，可拓展简单易用的台式电镜专用能谱仪（EDS）；Genesis-I型分析电镜，可拓展***级X-ray能谱仪，定量更***；Genesis-II型分析电镜，可拓展***EDS、WDS、EBSD装置、CL等多种电子显微分析附件。Veritas-300型分析电镜，具有大型样品观察分析仓，可装备更多电子显微分析附件和微操作样品台。OXFORDINSTRUMENT牛津仪器电子显微分析装置（EDS/WDS/EBSD）1、简易能谱EDS：无需***培训即可使用的产品。Cube台式电镜专用。2、***能谱EDS：探测器具有伸缩机制，可优化探测器采集效率；经过***培训，可获得精良测试结果；一般使用和简易EDS一样简单方便。Genesis-I型/Genesis-II型/Veritas均配置***能谱仪EDS。Overview综述DetectselementsfromBetoPu元素探测范围Be铍-Pu钚（4-94）Premiumresolutionof125eV***ailable,guaranteedonyourSEM可获得125ev极限分辨率ResolutionmeasuredincompliancewithISO15632:2012检测标准服从ISO15632:2012CompatiblewithINCA®andAZtec®EDSanalysissoftware兼容INCA和Aztec能谱分析软件Feature特征ReliableAutoIDforelementidentification可靠地自动元素定性Accuratequant–allcountrates所有计数率的***定量Stabilityguaranteedfrom1,000to100,000cps–peakshiftandresolutionchange<1eV保证计数率1000~10万cps谱峰能力稳定性-峰漂移和分辨率变化小于1evFullsoftwarecorrectionatveryhighcountratesincludingpile-upcorrection极高计数率全软件自动死时间校准ExcellentlowenergyanalysiswithdetectionfromBetoPu***的低能x射线分析ResolutionguaranteedonSEMatMnKa,FKa,andCKa采用锰Ka，氟Ka，碳KaX射线线系保证在SEM上EDS分辨率IncompliancewithISO15632:2012Fullyintegratedanalyticalha***arechainforfast,reliableanalyticalperformance完全一体化信号处理硬件，保证快速、可靠地分析性能X-ActAdvantage优势AhighqualitySDDforroutineEDSapplicati***wheretheperformanceoftheX-MaxNisnotneed高质量的硅漂移电制冷EDS探测器用于无需X-Max大面积晶体的日常常规EDS分析应用Upto10xcountratesofSi(Li)detectors,forincreasedproductivityandnolossofanalyticalperformance比锂漂移硅探测器提高十倍探测效率，而不损失分析性能LN2-freeoperation无需液氮)