薄膜厚度仪型号：CH-1-ST测量范围：0-1mm，分度值：0.001mm，综合误差：0.005mm。上下测头为φ6mm平面时，其测头对试样施加负荷为0.5-1.0N.下测头为φ6mm平面，上测头为R16曲率半径时，其测头对试样施加负荷为0.1-0.5N.)