倍福卡件kl3001总线端子模块ks3001全新现货倍福模块BECKHOFF机械设计是确保精度的前提机架由一个手动放置（精度为2µm）的防振花岗岩基体、一个悬空的花岗岩架及两个悬空的滑块构成。激光和一个自动对焦系统安装在滑块上，它以1m/s的速度和10m/s2的加速度将激光二极管纵向移动到基底的上方。三吨重的花岗岩架将装置横向移动，***精度为2.5μm。压力系统控制对焦和激光束的横向偏移。为了制作出所需的结构，在运动过程中不定地对激光束进行脉冲。***现货，一手货源价格优势德国制造品质过硬库存充足全新现货倍福全系列优质服务提供技术支持欢迎新老客户朋友询价选购下单部分图片可能与实物不同为图片选择错误所致，欢迎来电联系医1壶5酒9吧8吧8而2思4而2已1思4酒9去掉汉字15988242149第2页共2页通过EtherCAT实现极速加工控制系统的核心部分是一台Beckhoff控制柜式工控机C6140（操作系统为WindowsXP***版）和TwinCAT自动化软件。“高速数据传输和处理是***激光***的前提条件。倍福卡件kl3001总线端子模块ks3001全新现货倍福模块BECKHOFF因此，我们只使用高性能组件，如工控机C6140、EtherCAT总线系统和EtherCAT端子模块。”TobiasReiter如是说。StefanScharl补充道：“这让我们能够获得高采样率、短周期时间（约50µs）和稳定的实时能力，它们都是激光束高精度***的基础。光刻系统的每根轴都有一个现场总线端子盒，用一根单独的电缆连接至控制柜。“这样可减少布线工作量和拖缆数量，这一点对我们来说特别关键。”StefanScharl高兴地说道。“我们想要减少拖缆的使用量，用玻璃光纤来代替，以减少机械故障发生几率。”“我们使用PROFIBUS连接现场总线端子盒和控制装置，包括PC和手持装置。由于EtherCAT具有开放性，其它协议，如PROFIBUS，也可通过总线端子模块系统轻松集成倍福卡件kl3001总线端子模块ks3001全新现货倍福模块BECKHOFF。”TobiasReiter解释道。借助Beckhoff驱动技术实现高精度***“直线电机用于移动龙门架和滑块，而自动对焦系统的部件则由伺服电机驱动。电机由BeckhoffAX2xxx系列数字式伺服驱动器驱动。结合TwinCAT自动化软件，我们能够******激光，且重复精度高。”TobiasReiter如此说道。“尽管滑块运动具有高动态性，我们仍能够实现匀速运动，在短暂的加速阶段后，速度公差小于0.01m/s。”倍福卡件kl3001总线端子模块ks3001全新现货倍福模块BECKHOFF直线电机为反向旋转。“这样一来，我们就能够避免高扭矩并可实现脉冲推力补偿。为了避免受到干扰，龙门架中两根电气***的直线电机借助TwinCATNCPTP通过耦合实现同步，精度可达5µm。”龙门架与滑块的每次移动都需要***和取消***空气轴承。“这一过程必须快速、***，位置上无任何变动。”Stefan)