可调整的角度：30o,45o,50o,55o,60o,65o,70o,75o,80o,90o测量方法：可旋转的椭圆偏振仪,可采样144个数据点.测量时间：3秒光源：HeNe6328埃,辐射少于1mw光源直径：1mm直径（1X3mm在晶片上70o）样品监视器：用39倍的显微镜结合起来寻表面进行观察，倾斜面其平整度检查.样品（晶片）尺寸:标准直径6英寸工作台面：在一个直径为6”的电晶片上，3”直线距离和任意旋转360o都可以覆盖任何一点.其倾斜的台面在X和Y平面上的任何样品的平整度在1o.软件：在Windows95/98中运行LMOD多层检测程序计算机：奔腾PC和HP彩色喷墨打印机薄膜厚度范围：0-60，000埃***度：在***大的测量范围内&plu***n;1埃检测器：有自动增益功能的固体检测器折射系数：在大部分的测量范围内&plu***n;.002电源:220V尺寸:高度:18英寸,宽度:33英寸,深度:15英寸净重:65lbs载重:95lbs设备通讯口:带RS232接口遵从SECS标准CDRH承诺：所有供应商都提供***好的设备，21CFR1040制造商***出少于1mw低功率辐射能.用任何一种光源如:太阳或电灯,操作时,不能直接看雷射光束或从平滑表面反射出的反射光.CE承诺:电气符合欧洲工业标准，带CE认证.)