α-StepIQ台阶仪是KLA-Tencor***新推出的表面轮廓测试仪。其***的垂直分辨率及经济的价格，适用于产品的研发、材料分析等方面的应用。其垂直重复性为8Å(1σ)或0.1%。亚埃米分辨率，为工艺分析、监控提供有效的方法。ASIQ配备多种二维图形特性分析软件。可用于包括硅片，微机械MEMS,陶瓷，微透镜及平面显示等行业。ASIQ可有多种选配件适合不同的需求。系统特性：垂直测试范围：100Å—2mm（选项）垂直分辨率：小于1Å台阶高度重复性：8Å或0.1%（1σ）扫描长度：10mm.)