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抛光硅片后清洗设备
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1.品牌:《南北电子》2.设备结构:主要功能部件有:箱体部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超声/兆声槽、石英管滚动系统、喷淋系统、机械手部分、贮藏柜、排风装置、给(排)水管路、抽风系统和电气控制系统等。3.设备特点:采用全自动控制式,通过触摸屏设定参数来选择清洗工艺,操作便捷.)
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