扩散,氧化炉
TubeStar系列氧化,扩散炉为实验型小型炉,根据需求定制,请按照以下流程确定规格:1.氧化过程:N2和O2的干氧化还是N2,O2,H2和pyrogenictorch的湿氧化或者N2和O2,高纯水蒸汽的湿氧化?2.层流箱(净化台)是否需要?3.***高温度需求:1100°or1200°Cor1300°C?4.采用石英管,舟还是SiC管,舟?(由炉管温度决定)5.旁路净化装置和N2载流口,载气的气流控制装置是否需要?6.需要几个炉管?7.手动装载还是机械装载?8.是否会应用于薄于100A的氧化层的制备或者20到25微米的厚氧化层的制备?)
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