电子显微镜
场发射扫描式电子显微镜(可远程遥控)(FE-SEM)型号:MIRAII-LMH技术参数1.分辨率:高真空(SE)1.0nmat30kV,1.2nmat15kV2.0nmat3kV,3.5nmat1kV2.放大倍数:4to1000000x3.真空系统:样品室<9*10-3Pa,枪体真空<3*10-7Pa4.加速电压0.5kVto30Kv5.电子束电流2pA—100nA6.样品室内部直径:230mm7.样品台行程:(5轴马达控制)X=80mm——马达控制Y=60mm——马达控制Z=47mm——马达控制R=360°连续马达控制T=-75°to50°马达控制最大样品高度60mm.主要特点国内唯一一家使用中文操作界面的电镜厂商1.电磁式电子枪自动对中;2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,很方便寻找样品位置;3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,电子枪部分使用离子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却.5.采用气垫减震系统6.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.7.11个外扩展接口.8.可进行远程控制仪器介绍MIRAII-LMH是TESCAN最新推出的高真空场发射扫描电子显微镜系列,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有很多用户使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计.1.高亮度肖特基发射可获得高分辨率,高电流和低噪音图片。独有的三透镜大视野观察(WideFieldOptics™)设计,该设计提供了多种工作模式和显示模式,体现了Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。2.结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-FlightBeamTracing™)可模拟和进行束斑优化。3.成像速度快。4.高吞吐量/自动取域。例:自动颗粒定点分析。5.出众的电动载台设计,支持能谱仪(EDX),波谱仪(WDX),背散射电子衍射仪(EBSD)。6.由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式机械泵,因而可以快速简单得到干净的真空样品室。电子枪由离子泵抽真空。7.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。8.成熟的控制软件,图片获取,存档,处理和分析功能。9.网络操作和内置的远程控制/诊断是Tescan的标准配置。10.强大的自动功能:全自动真空控制,自动升灯丝,自动电子枪校正(Autogunalignment),改变加速电压,自动补偿偏压,改变电子束大小,电子束探测电流自动跟随改变,改变放大倍率,自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差,LookUpTable自动调整等。11.完全自动的软件安装.12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;I.影像显示尺寸1)实时影像显示尺寸:共有512x512,768x768,1024x1024等3种方式。2)储存影像显示尺寸:共有512x512,768x768,1024x1024,1280x1280,1536x1536,2048x2048,2560x2560,4096x4096,8192x8192等9种方式。3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。II.扫描速度:从200ns/图素到10ms/图素,可阶级式或连续式的调整。III.聚焦窗口:可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。IV.动态聚焦,点&线扫描V.影像处理(Imageprocessing):提供15种影像处理功能。直方图(Histogram)﹐锐化(Sharpening)﹐等效化(AdaptiveEqualisation)﹐对比微分化(DifferentialContrast)﹐中值滤波(MedianFilter)﹐去噪声化(NoiseReduction)﹐自动对比调整(AutoContrast)﹐阴影补正(ShadingCorrection)﹐结构化(Structure)﹐反相化(Invert)﹐灰阶化(Convertto8bitsgrayscale)﹐真实色彩化(Convertto24bitstruecolor)﹐影像旋转90度(Rotation90degree)﹐影像翻转(Flip)﹐傅立叶转换(FourierTransformation)。VI.量测功能:提供13种影像量测的功能1).可分析彩色影像的RGB值。2).可量测线的长度。3).可量测任意两点的距离。4).可量测不规则形状的长度。5).可量测任意夹角。6).可量测不规则形状的面积和周长。7).可量测圆形的直径和周长。8).可量测任意三点所行成的圆形的直径和周长。9).可量测椭圆形的长、短轴长度和周长。10).可量测正方形面积。11).可量测长方形长和宽。12).可量测四边形长、宽和周长。13).可精确量测任意两点的距离(任何放大倍率下﹐误差小于3%)。14).可划指示箭头。15).可写说明文字。16).可在影像上标示MicroBar。17).字型、字体大小、颜色可任意设定。18).可列表作统计处理,并可以储存。19).实时或储存的影像均可处理。VII.影像存盘:1).浏览已储存影像的相本。2).找寻已储存影像的数据库系统。3).报告产生及从程序中直接打印。4).实时或储存的影像均可处理。13.卓越的分析品质;1)选择目标区域:以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。2)3D扫描:可通过各探头的配合,显示真实的三维图象。3)硬度分析:以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。4)多图片校正:可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。5)打印放大倍数:调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。6)关机时间设定:可以设定第一次自动关机时间。7)公差可选配软件8)形态学:该软件可对样品图片进行自动分析,测量和分类。其图片来源可以是显微镜,数码相机等。9)颗粒度分析:可以对多区域内的样品进行自动测量,分析和分类(不过分析样品必须在扫描窗口内)。该软件结合形态学软件使用,功能更加完善。10)自动连续截图11)样品观测12)鼠标连接:安装该软件后,可以用电子显微镜的鼠标控制其他连接设备的鼠标进行操作。)
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